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中科芯微取得晶圆转移装置专利,有效减小整体设备的占用空间

2025-04-22 13:48:14 3

本文源自:金融界

金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司取得一项名为“一种晶圆转移装置”的专利,授权公告号CN222775299U,申请日期为2024年4月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆转移装置,包括:机械手,所述机械手用于取放晶圆,所述机械手包括底座;识别机构,所述识别机构用于识别晶圆的姿态,所述识别机构包括支架、感应器和驱动件,所述支架与所述底座滑动连接,所述感应器与所述支架连接,所述驱动件设置于所述底座的一侧壁上且与所述支架连接,所述驱动件用于驱动所述支架在所述底座上作朝向或远离所述晶圆的运动,从而带动所述感应器作同步往返运动。本实用新型能够有效减小整体设备的占用空间。

天眼查资料显示,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司,成立于2020年,位于沈阳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息45条,此外企业还拥有行政许可7个。

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